高产效半导体制程专用氟聚合物

恒氟隆™ PFA GC410

公称 MFR 8 的平衡流动性显著提升挤出线速与拉伸比，兼具无与伦比的亚纳米级超高纯度。

优异流动特性与洁净室高纯度的完美平衡。

专为化学品输送管道高速挤出成型与多穴复杂精密注塑成型打造。

8.0 g/10 min

中粘度加工流动效率

理想的熔体流动指数可支持更大的拉伸比，降低薄壁件注塑压力，显著提高管道挤出生产线的产能与线速度。

260°C

热稳定性与化学惰性

在臭氧介质与高温强酸循环环境下，持续保持出色的韧性、刚性模量与全方位抗腐蚀保护。

500,000 次

MIT 耐屈挠疲劳寿命

具备卓越的抗环境应力开裂 (ESCR) 能力，为承受高频脉冲压力的超高纯阀门与管路系统提供长久可靠的运行寿命。

先进高分子微观工程

超高纯度规范与化学惰性

采用化学改性的完全氟化末端基，提供对臭氧介质与强腐蚀药液的极限防护。

O₃ 惰性

耐臭氧流体腐蚀

特殊聚合物结构改性，确保在输送高浓度臭氧去离子水与 SC-1 晶圆清洗液时，不发生表面氧化脆化与微裂纹。

< 10 ppt

微量金属溶出极限管控

主要金属离子 (Fe, Cu, Ni, Cr, Zn, Ca) 严格控制在极低基线，保障先进光刻与蚀刻制程中的晶圆良率。

零添加物

极低氟离子与 TOC

纯净无添加配方提供优异透光度，确保最低的氟化物萃取量，且对超纯水 (UPW) 系统不释放总有机碳 (TOC)。

100% 稳定

完全氟化末端基技术

分子链末端完全氟化转化可阻绝高温加工时的热气体逸散，避免微气泡与色斑生成，维持熔融张力稳定。

高效率加工与多元应用

半导体与高纯流体系统应用

缩短成型周期、具备均匀熔接性与全面抗腐蚀防护。

高速管道与双套管挤出

优异熔融强度支持大拉伸比与高产线速度，专为中央化学品供应系统 (CDS) 超光滑输送管道与双层安全防护套管设计。

多穴精密注塑成型组件

MFR 5 流动性可精准充填薄壁件模腔，适用于扩口接头 (Flare Fittings)、阀体、由令螺母及多通分流歧管。

自立型管道与槽体衬里

适用于高纯化学品工厂大型储罐、精馏塔及大口径输送管道之传递模塑与旋转成型衬里防护。

高精度流体仪表与传感器

为超声波流量计、压力传感器接液部提供不粘连平整表面与稳定的电气绝缘保护。

符合 SEMI F57 与 FDA 标准规范

恒氟隆™ PFA GC410 完全符合 SEMI F57 超高纯化学品输送系统规范，并满足 FDA 21 CFR 177.1550 及欧盟法规 (EU) No. 10/2011 要求。

技术规格数据表

恒氟隆™ PFA GC410 高产效半导体级树脂颗粒之代表物性值。

物性测试项目	测试标准	单位	代表公称值
熔体流动速率 MFR (372°C / 5.0 kg)	GB/T 3682 / ASTM D3307	g/10 min	8.0 (6.0 – 12.0)
比重 (Specific Gravity)	GB/T 1033 / ASTM D792	—	2.15
拉伸强度 (23°C)	GB/T 1040 / ASTM D3307	MPa	26
拉伸强度 (250°C)	GB/T 1040 / ASTM D3307	MPa	10
断裂伸长率 (23°C)	GB/T 1040 / ASTM D3307	%	320
熔点 (DSC 峰值)	GB/T 19466 / ASTM D4591	°C	305
MIT 耐屈挠疲劳寿命	ASTM D2176	次	500,000
介电常数 (1 MHz)	GB/T 1409 / ASTM D150	—	2.03

制造加工与供应链品控

包装、仓储与加工指引

ISO Class 5 洁净室密封包装与高产效熔融成型参数控制。

洁净室双层密封包装

采用防静电多层洁净聚乙烯袋封装（净重 25 kg），并置于刚性密封圆桶内，严密阻隔水汽吸收与环境悬浮颗粒污染。

成型加工温度控制

熔融加工温度建议设定于 350°C 至 390°C 之间。熔体温度切勿超过 400°C，以避免材料热分解劣化。

耐腐蚀合金设备

所有与熔融树脂接触的螺杆、机筒、模具与喷嘴，均须采用高耐腐蚀性的高镍基合金（如 Hastelloy® C-276 或 Inconel® 625）。

挤出机推荐加热温区设置

加料段 (Feed Zone): 330°C – 350°C | 压缩段 (Compression Zone): 350°C – 370°C | 计量段 (Metering Zone): 365°C – 385°C | 机头与模具: 375°C – 390°C