行业解决方案
半导体
 |
对于半导体行业而言，恒氟隆™ 氟聚合物具有多种特性，使其成为该行业不可或缺的材料。它们与工艺中使用的所有化学试剂都具有极佳的相容性，并且在用于过滤器以维持极洁净的环境以及半导体加工设备（湿法加工设备、流体输送系统和晶圆处理工具）时，具有极高的油水排斥性。
半导体行业依赖于精密工艺，并且对生产环境的洁净度要求极高，因为其对污染的容忍度极低。因此，使用有助于最大限度减少污染的材料至关重要。正因如此，半导体行业一直依赖 Everflon™ 氟聚合物来制造湿法加工设备、流体输送系统和晶圆处理工具。在工艺的流体处理环节，恒氟隆™氟聚合物被用作超纯型，其浸出物含量极低，能够承受蚀刻工艺中使用的强腐蚀性化学品。减少颗粒物、金属污染物以及密封件劣化导致的气体逸出造成的污染是半导体制造商的主要目标。
高纯度恒氟隆™ PFA 也用于保持制造过程中所用液体的超纯状态。它能够制造更大尺寸的晶圆，从而提高半导体制造的良率，进而生产出项目更优、价格更实惠的微芯片和 LED。
恒氟隆™ 氟聚合物树脂和涂层确保通信设备（例如基站、电缆）达到 5G 所需的速度、容量和低延迟。恒氟隆™ 氟聚合物还可用于蚀刻设备的密封件以及光刻工艺中光掩模的保护膜。
无
通讯